スパッター法による誘電体薄膜形成に関する研究

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著者

    • 北畠, 真 キタバタケ, マコト

書誌事項

タイトル

スパッター法による誘電体薄膜形成に関する研究

著者名

北畠, 真

著者別名

キタバタケ, マコト

学位授与大学

東北大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4728号

学位授与年月日

1988-03-11

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000035650
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000035711
  • NDL書誌ID
    • 000000199964
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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