スパッター法による誘電体薄膜形成に関する研究

Access this Article

Search this Article

Author

    • 北畠, 真 キタバタケ, マコト

Bibliographic Information

Title

スパッター法による誘電体薄膜形成に関する研究

Author

北畠, 真

Author(Another name)

キタバタケ, マコト

University

東北大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第4728号

Degree year

1988-03-11

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (4コマ目)
0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000035650
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000035711
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000199964
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

Export

Page Top