Ionized cluster beam techniques : formation of cluster beams by vaporized solid materials and their applications to film depositions クラスターイオンビーム技術 : 蒸気化固体物質によるクラスタービームの生成と、その薄膜形成への応用
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Bibliographic Information
- Title
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Ionized cluster beam techniques : formation of cluster beams by vaporized solid materials and their applications to film depositions
- Other Title
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クラスターイオンビーム技術 : 蒸気化固体物質によるクラスタービームの生成と、その薄膜形成への応用
- Author
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臼井, 博明
- Author(Another name)
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ウスイ, ヒロアキ
- University
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京都大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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甲第3986号
- Degree year
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1988-03-23
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 (26コマ目)
