Physical properties of semiconducting amorphous silicon carbon alloy and its application to ultra-thin multilayers アモルファス半導体シリコンカーボンの物性と極薄膜多層構造への応用

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著者

    • 吉本, 昌広 ヨシモト, マサヒロ

書誌事項

タイトル

Physical properties of semiconducting amorphous silicon carbon alloy and its application to ultra-thin multilayers

タイトル別名

アモルファス半導体シリコンカーボンの物性と極薄膜多層構造への応用

著者名

吉本, 昌広

著者別名

ヨシモト, マサヒロ

学位授与大学

京都大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第3999号

学位授与年月日

1988-03-23

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000035883
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000035944
  • NDL書誌ID
    • 000000200197
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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