プラズマによる薄膜形成とその応用における水素の制御に関する研究

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著者

    • 豊田, 浩孝 トヨダ, ヒロタカ

書誌事項

タイトル

プラズマによる薄膜形成とその応用における水素の制御に関する研究

著者名

豊田, 浩孝

著者別名

トヨダ, ヒロタカ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2063号

学位授与年月日

1988-03-25

注記・抄録

博士論文

名古屋大学博士学位論文 学位の種類:工学博士 (課程) 学位授与年月日:昭和63年3月25日

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000036659
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000036721
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000200973
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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