SEMを用いた電子線直接描画と集積回路に関する研究

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著者

    • 朴, 善宇 バク, センウ

書誌事項

タイトル

SEMを用いた電子線直接描画と集積回路に関する研究

著者名

朴, 善宇

著者別名

バク, センウ

学位授与大学

上智大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第82号

学位授与年月日

1988-03-31

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000036753
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000036815
  • NDL書誌ID
    • 000000201067
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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