SEMを用いた電子線直接描画と集積回路に関する研究

Access this Article

Search this Article

Author

    • 朴, 善宇 バク, センウ

Bibliographic Information

Title

SEMを用いた電子線直接描画と集積回路に関する研究

Author

朴, 善宇

Author(Another name)

バク, センウ

University

上智大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

甲第82号

Degree year

1988-03-31

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (4コマ目)
4access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000036753
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000036815
  • DOI(NDL)
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000000201067
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

Export

Page Top