Fundamental study of precise Auger depth profiling for polycrystalline metal films 多結晶金属薄膜の精密オージェ・デプス分析に関する基礎研究

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著者

    • 種村, 眞幸 タネムラ, マサキ

書誌事項

タイトル

Fundamental study of precise Auger depth profiling for polycrystalline metal films

タイトル別名

多結晶金属薄膜の精密オージェ・デプス分析に関する基礎研究

著者名

種村, 眞幸

著者別名

タネムラ, マサキ

学位授与大学

名古屋工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第4号

学位授与年月日

1988-03-23

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000039128
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000039198
  • NDL書誌ID
    • 000000203442
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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