超精密加工面の評価への光干渉の応用に関する研究 : 特に観察面の振動の影響を受けない方法について

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著者

    • 安達, 正明 アダチ, マサアキ

書誌事項

タイトル

超精密加工面の評価への光干渉の応用に関する研究 : 特に観察面の振動の影響を受けない方法について

著者名

安達, 正明

著者別名

アダチ, マサアキ

学位授与大学

大阪府立大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第563号

学位授与年月日

1988-05-30

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000039350
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000039421
  • NDL書誌ID
    • 000000203664
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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