Microstructure and magnetic properties of Fe and Fe-N magnetic thin films prepared by two-facing targets type sputtering apparatus 対向陰極型直流スパッタ装置を用いて作製したFeおよびFe-N薄膜の構造と磁性

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著者

    • 宮, 声凱 キュウ, セイガイ

書誌事項

タイトル

Microstructure and magnetic properties of Fe and Fe-N magnetic thin films prepared by two-facing targets type sputtering apparatus

タイトル別名

対向陰極型直流スパッタ装置を用いて作製したFeおよびFe-N薄膜の構造と磁性

著者名

宮, 声凱

著者別名

キュウ, セイガイ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第1894号

学位授与年月日

1988-03-26

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000040669
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000040742
  • NDL書誌ID
    • 000000204983
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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