Microstructure and magnetic properties of Fe and Fe-N magnetic thin films prepared by two-facing targets type sputtering apparatus 対向陰極型直流スパッタ装置を用いて作製したFeおよびFe-N薄膜の構造と磁性
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Bibliographic Information
- Title
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Microstructure and magnetic properties of Fe and Fe-N magnetic thin films prepared by two-facing targets type sputtering apparatus
- Other Title
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対向陰極型直流スパッタ装置を用いて作製したFeおよびFe-N薄膜の構造と磁性
- Author
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宮, 声凱
- Author(Another name)
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キュウ, セイガイ
- University
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東京工業大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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甲第1894号
- Degree year
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1988-03-26
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 (5コマ目)