浮遊微粒子の遠隔計測によるクリーンルーム内の表面汚染に関する研究 : 汚染制御対象部位近傍における浮遊微粒子の挙動を中心として
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著者
書誌事項
- タイトル
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浮遊微粒子の遠隔計測によるクリーンルーム内の表面汚染に関する研究 : 汚染制御対象部位近傍における浮遊微粒子の挙動を中心として
- 著者名
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金, 光映
- 著者別名
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キム, クワンヨン
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第1936号
- 学位授与年月日
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1988-03-26
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (5コマ目)