封じ込め磁界を用いた磁性体高速スパッタ法の開発に関する研究

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Author

    • 高橋, 隆一 タカハシ, タカカズ

Bibliographic Information

Title

封じ込め磁界を用いた磁性体高速スパッタ法の開発に関する研究

Author

高橋, 隆一

Author(Another name)

タカハシ, タカカズ

University

東京工業大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第1803号

Degree year

1988-03-31

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (5コマ目)
0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000040868
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000040941
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000205182
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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