堆積非晶質Siの横方向固相エピタキシャル成長の研究

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著者

    • 国井, 泰夫 クニイ, ヤスオ

書誌事項

タイトル

堆積非晶質Siの横方向固相エピタキシャル成長の研究

著者名

国井, 泰夫

著者別名

クニイ, ヤスオ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第1810号

学位授与年月日

1988-03-31

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000040875
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000040948
  • NDL書誌ID
    • 000000205189
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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