集積回路に用いられるシリコン薄膜の物性とその応用の研究

この論文をさがす

著者

    • 牧野, 孝裕 マキノ, タカヒロ

書誌事項

タイトル

集積回路に用いられるシリコン薄膜の物性とその応用の研究

著者名

牧野, 孝裕

著者別名

マキノ, タカヒロ

学位授与大学

京都大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第6649号

学位授与年月日

1988-09-24

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000041081
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000041155
  • NDL書誌ID
    • 000000205395
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
ページトップへ