集積回路に用いられるシリコン薄膜の物性とその応用の研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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集積回路に用いられるシリコン薄膜の物性とその応用の研究
- 著者名
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牧野, 孝裕
- 著者別名
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マキノ, タカヒロ
- 学位授与大学
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京都大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第6649号
- 学位授与年月日
-
1988-09-24
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (6コマ目)
集積回路に用いられるシリコン薄膜の物性とその応用の研究
牧野, 孝裕
マキノ, タカヒロ
京都大学
工学博士
乙第6649号
1988-09-24
博士論文