AlN薄膜を用いた弾性表面波素子の特性評価と信号処理デバイスへの応用

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著者

    • 須貝, 和義 スガイ, カズヨシ

書誌事項

タイトル

AlN薄膜を用いた弾性表面波素子の特性評価と信号処理デバイスへの応用

著者名

須貝, 和義

著者別名

スガイ, カズヨシ

学位授与大学

東北大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第3300号

学位授与年月日

1984-03-27

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000041370
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000041444
  • NDL書誌ID
    • 000000205684
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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