AlN薄膜を用いた弾性表面波素子の特性評価と信号処理デバイスへの応用
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Author
Bibliographic Information
- Title
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AlN薄膜を用いた弾性表面波素子の特性評価と信号処理デバイスへの応用
- Author
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須貝, 和義
- Author(Another name)
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スガイ, カズヨシ
- University
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東北大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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甲第3300号
- Degree year
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1984-03-27
Note and Description
博士論文