シリコンの結晶成長に関する研究 : プラズマ分解法によるSOI構造の形成

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著者

    • 高井, 裕司 タカイ, ヒロジ

書誌事項

タイトル

シリコンの結晶成長に関する研究 : プラズマ分解法によるSOI構造の形成

著者名

高井, 裕司

著者別名

タカイ, ヒロジ

学位授与大学

早稲田大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第624号

学位授与年月日

1984-03-07

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000041575
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000041650
  • NDL書誌ID
    • 000000205889
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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