シリコンの結晶成長に関する研究 : プラズマ分解法によるSOI構造の形成
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Author
Bibliographic Information
- Title
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シリコンの結晶成長に関する研究 : プラズマ分解法によるSOI構造の形成
- Author
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高井, 裕司
- Author(Another name)
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タカイ, ヒロジ
- University
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早稲田大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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甲第624号
- Degree year
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1984-03-07
Note and Description
博士論文