半導体・集積回路製作のための微細加工用マイクロレジスト材料の研究

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著者

    • 中根, 久 ナカネ, ヒサシ

書誌事項

タイトル

半導体・集積回路製作のための微細加工用マイクロレジスト材料の研究

著者名

中根, 久

著者別名

ナカネ, ヒサシ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第6688号

学位授与年月日

1983-12-15

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000042804
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000042879
  • NDL書誌ID
    • 000000207118
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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