イオン注入欠陥と注入不純物の電気的活性化に関する研究

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著者

    • 西, 秀敏 ニシ, ヒデトシ

書誌事項

タイトル

イオン注入欠陥と注入不純物の電気的活性化に関する研究

著者名

西, 秀敏

著者別名

ニシ, ヒデトシ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第1251号

学位授与年月日

1983-06-30

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000043456
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000043533
  • NDL書誌ID
    • 000000207770
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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