イオン注入欠陥と注入不純物の電気的活性化に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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イオン注入欠陥と注入不純物の電気的活性化に関する研究
- 著者名
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西, 秀敏
- 著者別名
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ニシ, ヒデトシ
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第1251号
- 学位授与年月日
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1983-06-30
注記・抄録
博士論文
イオン注入欠陥と注入不純物の電気的活性化に関する研究
西, 秀敏
ニシ, ヒデトシ
東京工業大学
工学博士
乙第1251号
1983-06-30
博士論文