イオン注入欠陥と注入不純物の電気的活性化に関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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イオン注入欠陥と注入不純物の電気的活性化に関する研究
- Author
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西, 秀敏
- Author(Another name)
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ニシ, ヒデトシ
- University
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東京工業大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第1251号
- Degree year
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1983-06-30
Note and Description
博士論文