光波干渉による長さ測定の精度と能率の向上に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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光波干渉による長さ測定の精度と能率の向上に関する研究
- 著者名
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清野, 昭一
- 著者別名
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セイノ, ショウイチ
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第1265号
- 学位授与年月日
-
1983-07-31
注記・抄録
博士論文
光波干渉による長さ測定の精度と能率の向上に関する研究
清野, 昭一
セイノ, ショウイチ
東京工業大学
工学博士
乙第1265号
1983-07-31
博士論文