対向ターゲット式スパッタ法の開発とその薄膜形成への応用に関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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対向ターゲット式スパッタ法の開発とその薄膜形成への応用に関する研究
- Author
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星, 陽一
- Author(Another name)
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ホシ, ヨウイチ
- University
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東京工業大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第1295号
- Degree year
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1983-12-31
Note and Description
博士論文