SOI構造を用いた3次元デバイスの製作に関する研究

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著者

    • 向井, 良一 ムカイ, リョウイチ

書誌事項

タイトル

SOI構造を用いた3次元デバイスの製作に関する研究

著者名

向井, 良一

著者別名

ムカイ, リョウイチ

学位授与大学

東海大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第107号

学位授与年月日

1988-09-19

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000044200
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000044280
  • NDL書誌ID
    • 000000208514
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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