圧電性窒化アルミニウムと酸化亜鉛スパッタ膜の作製法と弾性表面波素子への応用

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Author

    • 武田, 文雄 タケダ, フミオ

Bibliographic Information

Title

圧電性窒化アルミニウムと酸化亜鉛スパッタ膜の作製法と弾性表面波素子への応用

Author

武田, 文雄

Author(Another name)

タケダ, フミオ

University

京都大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第6686号

Degree year

1988-11-24

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (7コマ目)
0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000045075
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000045157
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000209389
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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