Growth and characterization of semiconductor thin films prepared using microwave discharge マイクロ波放電による半導体薄膜の製作と特性評価

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著者

    • 茶谷原, 昭義 チャヤハラ, アキヨシ

書誌事項

タイトル

Growth and characterization of semiconductor thin films prepared using microwave discharge

タイトル別名

マイクロ波放電による半導体薄膜の製作と特性評価

著者名

茶谷原, 昭義

著者別名

チャヤハラ, アキヨシ

学位授与大学

広島大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第709号

学位授与年月日

1988-03-24

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000045750
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000045833
  • NDL書誌ID
    • 000000210064
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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