低融点Sb系Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体引上げ結晶の不純物偏析に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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低融点Sb系Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体引上げ結晶の不純物偏析に関する研究
- 著者名
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早川, 泰弘
- 著者別名
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ハヤカワ, ヤスヒロ
- 学位授与大学
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東京大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第8729号
- 学位授与年月日
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1988-02-25
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
低融点Sb系Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体引上げ結晶の不純物偏析に関する研究
早川, 泰弘
ハヤカワ, ヤスヒロ
東京大学
工学博士
乙第8729号
1988-02-25
博士論文