ガリウム砒素基板結晶中の固有欠陥およびイオン注入損傷に関する研究

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著者

    • 野島, 俊司 ノジマ, シュンジ

書誌事項

タイトル

ガリウム砒素基板結晶中の固有欠陥およびイオン注入損傷に関する研究

著者名

野島, 俊司

著者別名

ノジマ, シュンジ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第8813号

学位授与年月日

1988-03-18

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000051776
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000051892
  • NDL書誌ID
    • 000000216090
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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