ガリウム砒素基板結晶中の固有欠陥およびイオン注入損傷に関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
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ガリウム砒素基板結晶中の固有欠陥およびイオン注入損傷に関する研究
- Author
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野島, 俊司
- Author(Another name)
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ノジマ, シュンジ
- University
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東京大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第8813号
- Degree year
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1988-03-18
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 (4コマ目)