Studies on material process related to X-ray lithography X線リソグラフィーに関する材料プロセスの研究

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著者

    • 山田, 人巳 ヤマダ, ヒトミ

書誌事項

タイトル

Studies on material process related to X-ray lithography

タイトル別名

X線リソグラフィーに関する材料プロセスの研究

著者名

山田, 人巳

著者別名

ヤマダ, ヒトミ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2189号

学位授与年月日

1989-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000052190
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000052306
  • NDL書誌ID
    • 000000216504
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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