Glow discharge sputtering phenomena and the detection of sputtered species for the application to surface spectrochemical analysis グロー放電によるスパッタリング現象の原子スペクトル測定とその表面分析への応用

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Author

    • Teo Wei Boon ティオ ウェイ ブン

Bibliographic Information

Title

Glow discharge sputtering phenomena and the detection of sputtered species for the application to surface spectrochemical analysis

Other Title

グロー放電によるスパッタリング現象の原子スペクトル測定とその表面分析への応用

Author

Teo Wei Boon

Author(Another name)

ティオ ウェイ ブン

University

東北大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

甲第4062号

Degree year

1989-03-24

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (7コマ目)
0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000053241
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000053359
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000217555
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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