超LSIにおける超微細加工用荷電ビーム装置の開発とそのソフトウェア技術に関する研究

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著者

    • 齊藤, 和則 サイトウ, カズノリ

書誌事項

タイトル

超LSIにおける超微細加工用荷電ビーム装置の開発とそのソフトウェア技術に関する研究

著者名

齊藤, 和則

著者別名

サイトウ, カズノリ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4647号

学位授与年月日

1989-02-28

注記・抄録

博士論文

08466

博士(工学)

1989-02-28

大阪大学

14401乙第04647号

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000054543
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000054665
  • NDL書誌ID
    • 000000218857
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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