集束イオン注入ドーピングのMBE結晶成長への応用に関する研究

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著者

    • 高森, 晃 タカモリ, アキラ

書誌事項

タイトル

集束イオン注入ドーピングのMBE結晶成長への応用に関する研究

著者名

高森, 晃

著者別名

タカモリ, アキラ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4665号

学位授与年月日

1989-03-02

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000054561
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000054683
  • NDL書誌ID
    • 000000218875
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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