シリコンウェーハにおける金属不純物挙動に関する研究

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著者

    • 佐野, 正和 サノ, マサカズ

書誌事項

タイトル

シリコンウェーハにおける金属不純物挙動に関する研究

著者名

佐野, 正和

著者別名

サノ, マサカズ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4671号

学位授与年月日

1989-03-02

注記・抄録

博士論文

08491

博士(工学)

1989-03-02

大阪大学

14401第12345号

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000054567
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000054689
  • NDL書誌ID
    • 000000218881
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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