二光束干渉縞を用いた露光技術とその応用に関する研究

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著者

    • 野村, 登 ノムラ, ノボル

書誌事項

タイトル

二光束干渉縞を用いた露光技術とその応用に関する研究

著者名

野村, 登

著者別名

ノムラ, ノボル

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4722号

学位授与年月日

1989-03-15

注記・抄録

博士論文

08542

博士(工学)

1989-03-15

大阪大学

14401乙第04722号

0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000054618
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000054740
  • NDL書誌ID
    • 000000218932
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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