電子ビームによる微細穴加工に関する研究

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著者

    • 寺林, 隆夫 テラバヤシ, タカオ

書誌事項

タイトル

電子ビームによる微細穴加工に関する研究

著者名

寺林, 隆夫

著者別名

テラバヤシ, タカオ

学位授与大学

長岡技術科学大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第5号

学位授与年月日

1989-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000055775
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000055913
  • NDL書誌ID
    • 000000220089
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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