大強度パルスイオンビームを用いた薄膜形成に関する研究

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著者

    • 霜鳥, 裕 シモトリ, ユタカ

書誌事項

タイトル

大強度パルスイオンビームを用いた薄膜形成に関する研究

著者名

霜鳥, 裕

著者別名

シモトリ, ユタカ

学位授与大学

長岡技術科学大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第9号

学位授与年月日

1989-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000055779
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000055917
  • NDL書誌ID
    • 000000220093
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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