非結晶性シリコン薄膜および接合の応力効果に関する研究

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著者

    • 宇都宮, 道人 ウツノミヤ, ミチト

書誌事項

タイトル

非結晶性シリコン薄膜および接合の応力効果に関する研究

著者名

宇都宮, 道人

著者別名

ウツノミヤ, ミチト

学位授与大学

豊橋技術科学大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第4号

学位授与年月日

1989-03-23

注記・抄録

博士論文

0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000056471
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000056612
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000220785
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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