Growth of silicon oxide and formation of reactive gases induced by corona discharge コロナ放電による酸化珪素の成長と反応性気体の生成

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著者

    • 梨本, 恵一 ナシモト, ケイイチ

書誌事項

タイトル

Growth of silicon oxide and formation of reactive gases induced by corona discharge

タイトル別名

コロナ放電による酸化珪素の成長と反応性気体の生成

著者名

梨本, 恵一

著者別名

ナシモト, ケイイチ

学位授与大学

名古屋工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4号

学位授与年月日

1989-03-17

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000057085
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000057232
  • NDL書誌ID
    • 000000221399
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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