イオン注入及びダイナミックミキシング法による窒化膜の作成とその応用に関する研究

この論文をさがす

著者

    • 鷹野, 一朗 タカノ, イチロウ

書誌事項

タイトル

イオン注入及びダイナミックミキシング法による窒化膜の作成とその応用に関する研究

著者名

鷹野, 一朗

著者別名

タカノ, イチロウ

学位授与大学

工学院大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第12号

学位授与年月日

1989-03-31

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000057984
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000058137
  • NDL書誌ID
    • 000000222298
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
ページトップへ