イオン注入及びダイナミックミキシング法による窒化膜の作成とその応用に関する研究

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Author

    • 鷹野, 一朗 タカノ, イチロウ

Bibliographic Information

Title

イオン注入及びダイナミックミキシング法による窒化膜の作成とその応用に関する研究

Author

鷹野, 一朗

Author(Another name)

タカノ, イチロウ

University

工学院大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

甲第12号

Degree year

1989-03-31

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (10コマ目)
0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000057984
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000058137
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000222298
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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