Studies on thin films of functional polymers for electronic applications : molecular design in focus on EB resist materials 機能性高分子薄膜のエレクトロニクスへの応用 : EBレジスト材料を中心とした分子設計

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著者

    • 小口, 清 オグチ, キヨシ

書誌事項

タイトル

Studies on thin films of functional polymers for electronic applications : molecular design in focus on EB resist materials

タイトル別名

機能性高分子薄膜のエレクトロニクスへの応用 : EBレジスト材料を中心とした分子設計

著者名

小口, 清

著者別名

オグチ, キヨシ

学位授与大学

上智大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第60号

学位授与年月日

1989-07-11

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000058081
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000058234
  • NDL書誌ID
    • 000000222395
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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