Characteristics of CH[4]/CF[4] plasma and formation of diamond-like carbon films メタン/テトラフロロメタンプラズマの特性およびダイヤモンドライクカーボン膜の作製

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著者

    • 柳原, 健児 ヤナギハラ, ケンジ

書誌事項

タイトル

Characteristics of CH[4]/CF[4] plasma and formation of diamond-like carbon films

タイトル別名

メタン/テトラフロロメタンプラズマの特性およびダイヤモンドライクカーボン膜の作製

著者名

柳原, 健児

著者別名

ヤナギハラ, ケンジ

学位授与大学

広島大学

取得学位

理学博士

学位授与番号

乙第1789号

学位授与年月日

1989-01-23

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000061182
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000061343
  • NDL書誌ID
    • 000000225496
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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