多結晶シリコン薄膜電界効果トランジスタの微細化に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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多結晶シリコン薄膜電界効果トランジスタの微細化に関する研究
- 著者名
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羽鳥, 文敏
- 著者別名
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ハトリ, フミトシ
- 学位授与大学
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東京大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第8111号
- 学位授与年月日
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1989-03-29
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (6コマ目)
多結晶シリコン薄膜電界効果トランジスタの微細化に関する研究
羽鳥, 文敏
ハトリ, フミトシ
東京大学
工学博士
甲第8111号
1989-03-29
博士論文