半導体微細加工への機能性有機薄膜の応用に関する研究

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著者

    • 小川, 一文 オガワ, カズフミ

書誌事項

タイトル

半導体微細加工への機能性有機薄膜の応用に関する研究

著者名

小川, 一文

著者別名

オガワ, カズフミ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第9238号

学位授与年月日

1989-03-17

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000062137
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000062302
  • NDL書誌ID
    • 000000226451
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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