光CVD法によるアモルファスシリコン系薄膜の堆積とその電気的、光学的性質の研究
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Bibliographic Information
- Title
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光CVD法によるアモルファスシリコン系薄膜の堆積とその電気的、光学的性質の研究
- Author
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鈴木, 和彦
- Author(Another name)
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スズキ, カズヒコ
- University
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北海道大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第3740号
- Degree year
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1990-03-24
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 (3コマ目)