低加速SEMによる絶縁物試料二次電子像のコントラストメカニズムに関する研究

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著者

    • 池田, 晋 イケダ, ススム

書誌事項

タイトル

低加速SEMによる絶縁物試料二次電子像のコントラストメカニズムに関する研究

著者名

池田, 晋

著者別名

イケダ, ススム

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第3712号

学位授与年月日

1990-01-12

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000064968
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000065140
  • NDL書誌ID
    • 000000229282
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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