高エネルギーイオンマイクロプローブによる微小構造の非破壊三次元分析法の研究 コウエネルギーイオン マイクロプローブ ニ ヨル ビショウコウゾウ ノ ヒハカイ サンジゲン ブンセキホウ ノ ケンキュウ

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著者

    • 木野村, 淳 キノムラ, アツシ

書誌事項

タイトル

高エネルギーイオンマイクロプローブによる微小構造の非破壊三次元分析法の研究

タイトル別名

コウエネルギーイオン マイクロプローブ ニ ヨル ビショウコウゾウ ノ ヒハカイ サンジゲン ブンセキホウ ノ ケンキュウ

著者名

木野村, 淳

著者別名

キノムラ, アツシ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第4181号

学位授与年月日

1990-03-24

注記・抄録

博士論文

09199

博士(工学)

1990-03-24

大阪大学

14401甲第04181号

0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000065198
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000065371
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000229512
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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