高エネルギーイオンマイクロプローブによる微小構造の非破壊三次元分析法の研究 コウエネルギーイオン マイクロプローブ ニ ヨル ビショウコウゾウ ノ ヒハカイ サンジゲン ブンセキホウ ノ ケンキュウ
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著者
書誌事項
- タイトル
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高エネルギーイオンマイクロプローブによる微小構造の非破壊三次元分析法の研究
- タイトル別名
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コウエネルギーイオン マイクロプローブ ニ ヨル ビショウコウゾウ ノ ヒハカイ サンジゲン ブンセキホウ ノ ケンキュウ
- 著者名
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木野村, 淳
- 著者別名
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キノムラ, アツシ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第4181号
- 学位授与年月日
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1990-03-24
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (3コマ目)
