集束イオンビームプロセス用液体金属合金イオン源の開発に関する研究

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Author

    • 有本, 宏 アリモト, ヒロシ

Bibliographic Information

Title

集束イオンビームプロセス用液体金属合金イオン源の開発に関する研究

Author

有本, 宏

Author(Another name)

アリモト, ヒロシ

University

大阪大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第5000号

Degree year

1990-03-14

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (4コマ目)
4access

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000065312
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000065486
  • DOI(NDL)
  • Text Lang
    • und
  • NDLBibID
    • 000000229626
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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